아두이노 나노로 와 자체 프로그램으로 동작하는 로봇팔 이다.
| IN CHABER - 웨이퍼를 리딩하고 공정의 시작 |
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| OUT CHABER - 모든 공정이 끝나고 웨이퍼를 이동시킴 |
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| SPIN IN - 스핀코터 챔버 진입 |
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| SPIN OUT - 스핀코터 챔버 꺼냄 |
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| BAKE IN - 베이크 챔버 진입 |
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| BAKE OUT - 베이크 챔버 꺼냄 |
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| UV IN - UV EXPOSURE 챔버 진입 |
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| UV IN - UV EXPOSURE 챔버 꺼냄 |
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